產(chǎn)品類別：氣體質(zhì)量流量計(jì)/流量控制器
產(chǎn)品型號(hào)：SFC4000
產(chǎn)品特點(diǎn)：
規(guī)格：
－高精度：設(shè)定點(diǎn)的0.8%(10%～100%滿量程)
－超快響應(yīng)：<100ms
－量程范圍：0-0.05/0.5/2/5/20 ln/min
－數(shù)字化標(biāo)定&溫度補(bǔ)償
－標(biāo)準(zhǔn)接口(0-5V)
－標(biāo)準(zhǔn)供電電壓：24V
－標(biāo)準(zhǔn)的機(jī)械接口：G1/4”
－提供NIST-traceable標(biāo)定證書
應(yīng)用領(lǐng)域：
－分析儀器 －干刻（RIE/DRIE）
－生物技術(shù) －氣相色譜分析
－激光焊機(jī) －過(guò)程自動(dòng)化
－真空鍍膜 －燃料電池
安裝尺寸
105*28.5*91.20（mm）
下載資料：
SFC4000 數(shù)據(jù)手冊(cè)
