產品類別：氣體質量流量計/流量控制器 產品型號：SFC3000 產品特點： －經濟型，適合大的OEM－全數字標定，RS485接口－精度：設定值的2%－量程：0-200 sccm－多種氣體標定，可通過軟件切換N2/He/H2/Ar 應用領域：_分析儀器 _干刻（RIE/DRIE）_生物技術 _氣相色譜分析_激光焊機 _過程自動化_真空鍍膜 _燃料電池 安裝尺寸 70*25*78（mm）
－經濟型，適合大的OEM－全數字標定，RS485接口－精度：設定值的2%－量程：0-200 sccm－多種氣體標定，可通過軟件切換N2/He/H2/Ar
應用領域：_分析儀器 _干刻（RIE/DRIE）_生物技術 _氣相色譜分析_激光焊機 _過程自動化_真空鍍膜 _燃料電池
安裝尺寸
70*25*78（mm）
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