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利用動(dòng)子線圈中流動(dòng)的電流方向的交替變化，而產(chǎn)生交替極性變化的電磁場(chǎng)，與定子永磁鐵塊的S極和N極之間的異性相吸，同性相斥原理，讓動(dòng)子在定子上懸浮地線性運(yùn)動(dòng)的馬達(dá)為線性馬達(dá)，也稱(chēng)直線電機(jī)。理論上定子上永磁鐵塊可以無(wú)限拼接，則動(dòng)子行程可無(wú)限長(zhǎng)。采用線性馬達(dá)構(gòu)建的可承載的多軸向線性運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，成為線性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。主要用兩個(gè)指標(biāo)標(biāo)定它的運(yùn)動(dòng)精度，定位精度和重復(fù)精度：
定位精度：驅(qū)動(dòng)程序設(shè)定動(dòng)子運(yùn)動(dòng)的行程與（光柵尺讀頭指示的）實(shí)際長(zhǎng)度之差。它是全行程的精度概念。例如程序設(shè)定跑Ls: 60.00mm, 實(shí)際上跑了Lt: 59.95mm。那么 :
定位精度α= Ls–Lt= 60.00-59.95= 0.05mm
用百分比表示為：α=(Ls–Lt)/ Ls X 100%=(60.00-59.95)/60= 0.08%
重復(fù)精度：驅(qū)動(dòng)程序設(shè)定動(dòng)子運(yùn)動(dòng)的行程(到一個(gè)指定位置)，兩次分別跑到該同一指定位置，光柵尺讀頭兩次指示的數(shù)值之差，也稱(chēng)重復(fù)定位精度。 例如要跑到Ls:60.00mm的指定位置，第一次跑了L1:60.05mm, 第二次是跑了L2：59.97。那么：
重復(fù)精度β= L1-L2= 60.05 - 59.97=0.08mm
用百分比表示為β=（L1-L2)/ Ls X 100%=（60.05 - 59.97）/60= 0.13%
通常情況，只有運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)才用定位精度和重復(fù)精度來(lái)標(biāo)定系統(tǒng)或產(chǎn)品的精度，重復(fù)定位精度比定位精度一般要高。例如美國(guó)TEO品牌LMS-3000系列高精度多軸向線性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)平臺(tái)，定位精度α可達(dá)0.1μm；重復(fù)定位精度β可達(dá)0.01μm。
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