MF6600系列氣體質(zhì)量流量計應(yīng)目前市場需求而開發(fā)，采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。長久以來，轉(zhuǎn)子流量計大量應(yīng)用于低成本的氣體過程控制，但其采用光電數(shù)字轉(zhuǎn)換的方式已不能滿足對于精度、成本和數(shù)字化技術(shù)的發(fā)展要求。MF6600在機械安裝尺寸上兼容轉(zhuǎn)子流量計，實現(xiàn)高精度質(zhì)量流量測控和多種數(shù)字遠傳及電池供電選項
