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西克 半導體加工行業(yè)應用案例分享
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縱觀半導體設備的發(fā)展歷史,不難發(fā)現(xiàn)半導體設備緊隨全球芯片制造中心而不斷東移:從70-80年代的美國,到80-90年代的日本,再到90年代后期的中國臺灣與韓國。

隨著中國高端制造技術的不斷發(fā)展,與本身龐大的市場需求相互幫襯,未來十年,中國有望成為半導體芯片制造的全球中心。

目前,在國家重大科技專項的支持下,集成電路主要工藝設備如PVD、PECVD、CMP、介質刻蝕機、CMP等技術均有顯著提升。而IC晶圓生產線的設備國產化率也在不斷提高。設備技術的提升也拉高了對光學傳感器性能的需求。除了對精度、穩(wěn)定性等性能要達到極高的標準外,傳感器也被要求實現(xiàn)更多的檢測任務。

作為有著超過75年歷史的工業(yè)傳感器領先生產廠商,SICK具有深厚的技術積累,豐富的產品種類,可以為半導體設備廠商提供更多樣的產品、更優(yōu)異的性能以及更專業(yè)的服務。

硅板厚度測量

產品系列:

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OD5000位移測量傳感器

訂貨號:6063621

客戶應用:

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1.太陽能硅片分選機,客戶需求在皮帶輸送線上檢測硅片的厚度,精度要求為2um

2.采用2*OD5000-C30T05上下組合方式,來測量硅片的厚度

3.客戶利用上位機接受數據做算法處理,判定硅片的規(guī)格

客戶受益:

雙頭側厚,通過以太網接口和集成在傳感器內部評價單元,無需額外控制器計算

高達80kHZ測量頻率,準確測量微小變化

激光定位更加柔性,可視覺,產品定位精度更高

實時在線測量,相對于線激光方案,節(jié)省成本,精度更高

石英載具到位檢測

產品系列:

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WTF12G

訂貨號:1065719

客戶應用:

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1.石英載具裝載硅片進行熱處理、涂層等一系列工藝流程。

2.需要對半透明石英載具進行穩(wěn)定到位檢測,由于熱處理中溫度較高,無法安裝反射板,只能選擇漫反射。

3.檢測距離較遠,無法使用V鏡頭光電傳感器。

客戶受益:

WTF12G是漫反射前景抑制型原理,無需反射板,只需對背景進行示教即可

可以穩(wěn)定地檢測透明、半透明等物體

檢測距離可達700mm

硅片檢測:

產品系列:

微信圖片_20220303095016 微信圖片_20220303095020

G2F,WTV4FE

WTV4FE訂貨號:1105444

GTB2F訂貨號:1093737

客戶應用:

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1.檢測硅片的到位與有無,硅片表面光學性能特殊,普通漫反射光電很難穩(wěn)定檢測

2.安裝空間十分有限,需要迷你型尺寸光電

3.無法安裝鏡反射與對射型光電

客戶受益:

微信圖片_20220303095030

G2F扁平型外觀設計,可以安裝在狹小的空間中

獨特的V型鏡頭設計,可穩(wěn)定檢測高反光、透明薄膜,深黑色吸光平面。

WTV4FE可進行旋按式示教,V鏡頭檢測距離增加至50mm

產品系列:

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WTT4SLC

訂貨號:1097190

應用需求要點:

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1.檢測距離400-500mm

2.檢測邊緣,客戶需要光斑盡可能小

3.安裝位置有限制,只能接受漫反射光電

客戶受益:

WTT4SLC時間飛行原理,可穩(wěn)定從傾斜角度或側面檢測帶有弧度的物體,并且不受物體表面顏色和材質的影響

具有優(yōu)異的背景抑制性能,可穩(wěn)定屏蔽背景干擾

漫反射檢測,最遠可達到1.3m檢測距離

光斑聚攏,4mm(1m),可以從側面檢測薄片邊緣

Roller(輸送輪)粗糙度區(qū)分:

產品系列:

微信圖片_20220303095049

Glare系列光澤度傳感器

應用需求要點:

QQ截圖20220303095124

1.現(xiàn)場面板傳輸設備運輸基板一段時間后,基板與Roller摩擦導致Roller表面光滑,失去輸送力。

2.不同摩擦情況不同導致基板受力不均勻,造成良率下降,稼動率降低,客戶使用Glare光澤度傳感器對Roller表面粗糙程度進行檢測。

客戶受益:

原本客戶解決方法為工作人員定期停機檢查,使用自制比對卡進行人眼對比觀察。

使用Glare光澤傳感器后客戶受益如下:

降低檢測誤差

減少檢查時間

節(jié)省人力資源

點擊查看電子資料

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Glare系列光澤度傳感器

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PowerProx系列 MultiTask光電傳感器

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W4F 迷你型光電傳感器

微信圖片_20220303095145

位移測量傳感器OD5000


 

狀 態(tài): 離線

公司簡介
產品目錄
供應信息

公司名稱: 廣州市西克傳感器有限公司
聯(lián) 系 人: 廣州市西克傳感器有限公司
電  話: 020-28823600
傳  真: 020-38303350
地  址: 廣州市天河區(qū)珠江西路15號珠江城大廈18樓
郵  編: 510623
主  頁:
 
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