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薄膜真空計(jì)是迄今為止唯一得到公認(rèn)的可作為低真空測(cè)量（0.01--100Pa）工作副標(biāo)準(zhǔn)的一種真空儀器，
其原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化，即產(chǎn)生了電容的變化，再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號(hào)，所以，它的測(cè)量是直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無(wú)關(guān)，即：薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。
而我們常用的真空計(jì)往往是電阻計(jì)、熱偶計(jì)居多，是一種間接測(cè)量的真空計(jì)，是一種熱傳導(dǎo)型的真空測(cè)量方法，簡(jiǎn)單一點(diǎn)來(lái)說(shuō)，就是通過(guò)測(cè)量感受氣體溫度的方法來(lái)間接測(cè)量氣體壓強(qiáng)（真空度），是一種類似于大家很熟悉熱電阻、熱電偶的測(cè)量方法。由于測(cè)量原理上的先天不足，這類真空計(jì)的測(cè)量精度、測(cè)量穩(wěn)定度是很不好的。其測(cè)量誤差一般比薄膜真空計(jì)大1~2個(gè)以上數(shù)量級(jí)（誤差大于30%），尤其是在低真空段（0.01---100Pa），誤差大到測(cè)量可信度極低。但是由于它制造容易、價(jià)格低廉，在許多的要求較低真空設(shè)備上還普遍使用著。許多人抱怨花了3、4千元買(mǎi)到進(jìn)口的真空傳感器也誤差很大，就是因?yàn)槔贤獾倪@個(gè)價(jià)位的產(chǎn)品還是老的熱傳導(dǎo)測(cè)量機(jī)理的真空傳感器。
現(xiàn)在真空應(yīng)用技術(shù)的發(fā)展，真空應(yīng)用設(shè)備對(duì)儀器儀表的要求越來(lái)越高，特別是對(duì)測(cè)量精度、穩(wěn)定性要求、以及自動(dòng)控制性能要求也越來(lái)越高，因?yàn)檫@直接關(guān)系到真空設(shè)備的整體性能質(zhì)量，關(guān)系到真空應(yīng)用技術(shù)或應(yīng)用工藝的應(yīng)用效果，甚至于成功與否。在精細(xì)化工、真空冶煉、真空熱處理、真空浸漬、真空冷凍干燥、真空絕緣處理、電真空器件、半導(dǎo)體材料生產(chǎn)、高特新材料、新能源設(shè)備等等行業(yè)中尤其特出。
許多新設(shè)備、新工藝、新產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)無(wú)法得到預(yù)想的技術(shù)指標(biāo)，很可能就是真空測(cè)控儀表選型不當(dāng)、測(cè)量控制精度無(wú)法達(dá)到要求所致。
現(xiàn)在，國(guó)內(nèi)學(xué)習(xí)和引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，根據(jù)我們真空設(shè)備配套測(cè)控儀表的特點(diǎn)，研制出的陶瓷薄膜真空計(jì)，其測(cè)量精度和穩(wěn)定性已經(jīng)完全可以與進(jìn)口產(chǎn)品相媲美了。
如果有興趣，需要了解國(guó)產(chǎn)陶瓷電容式薄膜真空計(jì)產(chǎn)品的詳細(xì)技術(shù)指標(biāo)、系列型號(hào)等信息，可回復(fù)郵址索取。     
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