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產(chǎn)品型號
技術(shù)參數(shù)
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JKZC-DM4
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JKZC-DM6
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JKZC-DM8
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探針臺臺體
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主體材料
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航空鋁
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航空鋁
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航空鋁
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整機(jī)尺寸（mm）
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500L*380W*520H
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550L*420W*520H
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600L*480W*520H
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重量
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30kg
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35kg
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50kg
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自適應(yīng)減震系統(tǒng)
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自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，可有效過濾環(huán)境中的震動(dòng)源干擾
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卡盤大小
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4英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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6英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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8英寸,360度轉(zhuǎn)動(dòng)，可微調(diào)
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卡盤XY軸行程
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4英寸*4英寸，精度10um
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6英寸*6英寸，精度10um
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6英寸*6英寸，精度10um
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卡盤Z軸行程
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快速升降5mm,微調(diào)升降行程6mm,精度丄微米（選件）
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卡盤材質(zhì)
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不銹鋼鍍金，具備更小的接觸電阻
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卡盤吸附方式
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真空吸附，可選擇環(huán)形吸附或者多孔吸附（適用于薄片）
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背電極測試功能
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卡盤鍍金，電學(xué)獨(dú)立懸空，帶2個(gè)4mm香蕉頭插口，具備背電極功能
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其它功能
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帶標(biāo)準(zhǔn)接地保護(hù)，可升級
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針座平臺
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材質(zhì)
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U型平臺，Q235鍍療，帶接地端子
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大小
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最多可放置4個(gè)探針座
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最多可放置6個(gè)探針座
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最多可放置8個(gè)探針座
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顯7F系統(tǒng)
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顯微鏡類型
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體式顯微鏡/視頻顯微鏡+CCD成像系統(tǒng)
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倍率范圍
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16X~200X/40X~280X
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調(diào)焦范圍
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50.8mm
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顯微鏡移動(dòng)
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顯微鏡可繞立柱360度旋轉(zhuǎn)，帶2英寸高精度顯微鏡調(diào)焦機(jī)構(gòu)，帶顯示器支架
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CCD成像系統(tǒng)
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2k或者4K相機(jī)，幀率60fps,帶拍照/錄像/測量功能等功能
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探針座
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種類
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絲桿型/微分頭型/經(jīng)濟(jì)型探針座
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X-Y-Z行程
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12.5mm-12.5mm-12.5mm
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機(jī)械精度
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0.5um/0.7um/2um
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夾具
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漏電精度
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同軸夾具10pA/三軸夾具lOOfA
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接口形式
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同軸/三軸/SMA/香蕉頭/鱷魚夾/裸線等接口
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其它
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選件
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屏蔽箱/防震桌/射頻系統(tǒng)/同軸/三軸加熱卡盤/顯微鏡萬向支架等
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電力需求
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220V/50HZ
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