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X-Y-θ高精度工作臺(tái)

日機(jī)電裝（nikki dense）XYθ組合平臺(tái)表現(xiàn)出色，在低速穩(wěn)定（速度變化：10mm/sec時(shí)為0.2％）這是超薄平面型直線伺服電機(jī)無鐵心NVA- AM型和大推力無鐵心直線電機(jī)NVA-BM型組合成XY軸，三軸平臺(tái)使用DD馬達(dá)作為θ-axis使結(jié)構(gòu)更為緊湊

測(cè)量高精度X-Y-θ平臺(tái)

垂直度為5μm

分辨率0.1μm

 

 

X-Y-θ平臺(tái)幾款典型產(chǎn)品（實(shí)際可根據(jù)客戶需求組合）

1、超薄XYθ平臺(tái)400mmx460mmxH144.5mm

*總高度140mm 

超薄NVA-AM平板式直線電機(jī)被用于X軸和Y軸，X-Y平臺(tái)總高度95.5mm。高度為44.5毫米DD馬達(dá)作為θ軸，X-Y-θ總高度只有140毫米。 薄和低結(jié)構(gòu)的機(jī)械結(jié)構(gòu)可以提供低速運(yùn)行的穩(wěn)定性極好，而且還在高速運(yùn)動(dòng)時(shí)良好的重復(fù)定位。

 

2、X-Y-θ平臺(tái) 600mm X 800mm X H 194.5mm

*高精度型 

高推力型NVA-BM直線電機(jī)被用于X軸。 超薄型NVA-AM直線電機(jī)被用于Y軸，編碼器分辨率高達(dá)0.02μm，但它仍然可以運(yùn)行在1500mm/sec速度。 可實(shí)現(xiàn)1μm的定位精度和速度變化為0.03％。 高精度DD馬達(dá)用于θ軸，其徑向和軸向的跳動(dòng)小于10微米。

 

3、Ｘ-θ 平臺(tái) (雙邊驅(qū)動(dòng)) 605mm X 1000mm X 143.5mm

*雙邊驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

兩支NVA-BM高推力型直線電機(jī)被用于X軸。通過使用“雙邊驅(qū)動(dòng)”生成的最大推力1800N。絕對(duì)定位精度在1微米。通過使用并行驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，它可以降低成本和設(shè)備的大小。