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SK海力士擬打造全自動化半導體廠

http://bfqmb.cn 2021-02-24 11:53

SK海力士(SK Hynix)為打造全自動化的半導體工廠,表示提升設備業(yè)者的軟件技術極為重要,同時強調需在預測解決方案方面進行合作。Theelec報導,SK海力士TL鄭有仁(音譯)在SEMICON Korea會議中指出,SK海力士300mm晶圓廠的自動化位在第3~4階段。為邁向第5階段,需與設備業(yè)、學界等進行合作。

自動化工程分成1~5個階段,數字愈高自動化水平愈高,第5階段為全自動化。鄭有仁透露,大多數最新的半導體廠正在打造3~4階段自動化作業(yè)??勺詣油瓿啥囗椬鳂I(yè),無需人員監(jiān)控。在良率和生產效率方面,與人類表現相似。

其中,「預測」是實現智能工廠的最終關卡。以精準預測為基礎,可提升生產效率、良率,減少費用等。鄭有仁指出,在半導體自動化工程中,通過AI、數字孿生(Digital Twin)技術的預測解決方案將變得更為重要,可解決半導體自動化工程中出現的各種問題,如Cue-time排程、OHT(OverHead Transport)路徑設置。

Cue-time是指規(guī)定每項工程的開始和結束時間,若超出時間限制,將影響良率及質量表現,因此Cue-time排程極為重要。為達自動化,SK海力士最近正在利用AI進行研究,但尚未得到令人滿意的結果。OHT路徑設定則是將晶圓按照工藝順序,自動運送到設備室,SK海力士目前正在利用數字孿生開發(fā)自動化技術,并推進模擬開發(fā)作業(yè),致力于提高預測精準度。

為邁向智能廠房第5階段,在優(yōu)化算法的同時,預測精確度也至關重要。鄭有仁表示,為準確預測工作時間和路徑,需提高半導體設備的軟硬件技術。SK海力士將通過與業(yè)界及學界的合作,在智能工廠第5階段的良率和生產性方面,達到預期目標。

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